[发明专利]光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统在审
| 申请号： | 201911291679.3 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110849897A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 牛龙飞;周国瑞;苗心向;刘昊;吕海兵;蒋一岚;蒋晓东;周海;倪卫 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;B08B6/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，包括：光传输管道或箱体；光学元件支撑单元，其设置在光传输管道或箱体的底部；光学元件倾斜设置在光学元件支撑单元上；照明单元，其设置在光学元件支撑单元上；风刀单元，其设置在光学元件支撑单元上，其风刀单元位于光学元件的上边缘；相机监测单元，其设置在光传输管道或箱体的上方，且相机监测单元的照射镜头与光学元件的表面垂直。本发明的光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，可以实现对光学元件表面颗粒污染物的实时拍照采样，通过对污染物的粒径及分布信息进行统计，记录表面颗粒污染物的变化情况；该系统采用风刀单元可以实现对光学元件表面颗粒污染物的有效去除。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 表面 接触 洁净 监测 处理 系统 | ||
【主权项】：
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