[发明专利]一种高效双头固晶装置在审
| 申请号： | 201911292056.8 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110890298A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 冯霞霞 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 袁兴隆 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高效双头固晶装置，包括扩晶盘和工作台，所述高效双头固晶装置还包括甩臂、输送轨、收料机构和甩臂驱动机构，所述工作台通过工作台调节机构滑动安装在所述输送轨上，所述甩臂驱动机构可以驱动所述甩臂在扩晶盘和工作台之间移动，并将所述晶元蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘中的料片上，通过将工作台滑动设置在输送轨上，可以高效的进行取晶、固晶和收料工作，并且取晶和固晶的位置精度较高，通过转台带动两个甩臂转动，第一甩臂进行固晶操作的同时，第二甩臂进行取晶操作，进一步提高了生产效率，降低了生产成本，同时偏心轮和支撑轴的竖直调节机构产生的噪音较小，避免了噪音过大对作业员造成身心健康造成损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 双头固晶 装置 | ||
【主权项】：
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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