[发明专利]用于双片微通道板叠加测试的装置和方法有效
| 申请号： | 201911292186.1 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111090028B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张正君;乔芳建;丛晓庆;李婧雯;孙建宁;赵慧民;毛汉祺;邱祥彪;王兴超;宋淳 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/25 | 分类号： | G01R31/25;H01J43/24 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于双片微通道板叠加测试的装置和方法，测试装置包括真空泵组、电子/离子源、双片叠加的微通道板测试用管壳和信号检测系统。本发明可对双片叠加结构的微通道板进行测试，控制两片微通道板之间的距离，实现两片微通道板分别进行电压调控，微通道板安装和取出均比较便捷并且可以减少在测试过程中对微通道板的损伤，可以简便的转换两片微通道板的相对位置，无需重新安装微通道板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 双片微 通道 叠加 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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