[发明专利]一种喷射成形AlSnCu合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201911292978.9 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111534801B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 黄树晖;朱宝宏;刘红伟;张永安 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34;C23C14/16;C22C21/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种喷射成形AlSnCu合金靶材及其制备方法，属于金属材料的制备加工领域。该靶材中锡含量为15～25wt.％，铜含量为0.8～1.4wt.％，杂质总和小于0.3wt.％，其余为铝。按比例配料，加热融化为合金熔液；合金熔液通过陶瓷导流管，流入喷射成形设备腔体，以高速氮气为载体将液流分散为小液滴；使高速运动的小液滴降温形成半固半液的小颗粒，并在旋转的接收盘上再次聚集形成锭坯；车削锭坯，包套；进行闭式模锻；进行机械加工，制得最终产品。采用本发明方法制备的AlSnCu合金靶材的晶粒细小，约20μm以下，并且铝基体和锡相均呈现出均匀的近等轴状，锭坯各处成分均匀、无明显织构，少或无缺陷和杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷射 成形 alsncu 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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