[发明专利]钯基三元合金氢敏材料、薄膜、元件及制备方法，氢传感器有效
| 申请号： | 201911293385.4 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111118330B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 金承官;肖洲;许丹;刘智寅 | 申请（专利权）人： | 北京凯恩特技术有限公司;中广核工程有限公司 |
| 主分类号： | C22C5/04 | 分类号： | C22C5/04;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;G01N27/18 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王勤思 |
| 地址： | 102606 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钯基三元合金氢敏材料，所述氢敏材料包括以原子数百分比计的以下组分：Pd 85％～95％；Y 5％～12％；Ru 0.1％～5％。本发明还提供一种钯基三元合金氢敏薄膜，钯基三元合金薄膜复合氢敏元件及其制备方法，钯基三元合金薄膜氢传感器。本发明中的钯基三元合金材料所形成的氢敏薄膜相对于传统的二元合金材料所形成的氢敏薄膜来说，对氢气具有更高的活化能和溶解度，即对氢气吸附能力更强，单位体积容纳氢原子，并且吸附之后的裂解更为彻底。因此，包括所述氢敏薄膜的氢敏元件及氢传感器综合性质更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 三元 合金 材料 薄膜 元件 制备 方法 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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