[发明专利]椭圆谐振模态压电式MEMS圆环陀螺仪有效
| 申请号： | 201911296057.X | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110986908B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 陈浩然;吴国强 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 程力 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种椭圆谐振模态压电式MEMS圆环陀螺仪，包括设有凹腔的衬底，凹腔上方悬空有圆环谐振子和固支梁，固支梁沿圆环谐振子外侧均布，圆环谐振子通过固支梁与外围固支结构连接，外围固支结构与衬底固定，以圆环谐振子顶面上外圆和内圆之间的中心圆为基准圆，基准圆沿线均布有贯穿厚度方向的隔热槽，圆环谐振子的顶电极沿基准圆内外侧差分布置。该陀螺仪结构简单、体积小、易于批量制造、机械灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 椭圆 谐振 压电 mems 圆环 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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