[发明专利]加热晶圆上的旋涂膜的方法及加热装置在审
| 申请号： | 201911297581.9 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111352313A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘智龙;林钟吉;张成根 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热晶圆上的旋涂(SOC)膜的方法。方法包括步骤S401至S405。在步骤S401中，提供加热装置。加热装置包括烘烤盘和电磁波发生器。在步骤S402中，通过设置在烘烤盘中的加热单元对烘烤盘进行加热。在步骤S403中，将晶圆放置在加热装置的烘烤盘上。在步骤S404中，电磁波发生器生成电磁波以加热SOC膜。电磁波发生器生成的电磁波的频率在1THz至100THz的范围内。在步骤S405中，将晶圆从加热装置的烘烤盘中移除。本发明还提供一种加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 晶圆上 旋涂膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
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