[发明专利]湿度传感器及其制备方法、非接触式控制屏及应用在审
| 申请号： | 201911299655.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110954578A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 杨珏晗;史瑞龙;沈国震;娄正 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G06F3/01;G06F21/36;H03K17/945 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种湿度传感器及其制备方法、非接触式控制屏及应用，该湿度传感器的制备方法包括在衬底上制备交指电极；在制备有交指电极的衬底上制备湿敏材料，即得到所述湿度传感器。本发明所采用的制备MoO |
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| 搜索关键词： | 湿度 传感器 及其 制备 方法 接触 控制 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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