[发明专利]一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪在审
申请号: | 201911300022.9 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN110986821A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 熊亮;张路平 | 申请(专利权)人: | 广东谨诺科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 杨文科 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及测量技术领域,更具体地说,它涉及一种透可见光且反紫外光工件影像测量仪,该透可见光且反紫外光工件影像测量仪包括机台、光源和用于对待测量件成像的物镜;所述光源和物镜均设置在机台上;所述透可见光且反紫外光工件影像测量仪还包括载物机构,所述载物机构设置在机台上、且为可吸收紫外光线的载物机构,所述载物机构用于承载待测量件;所述光源包括紫外光源,所述紫外光源用于发出紫外光,为所述载物机构上的待测量件提供照明。根据本发明提供的技术方案,本发明的影像测量仪可以对高光透反紫外光工件比如ITO膜进行测量,测量精度较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 可见光 紫外光 工件 影像 测量仪 | ||
【主权项】:
暂无信息
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