[发明专利]一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法有效
| 申请号： | 201911300087.3 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110846714B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘佳奇 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，该晶棒取出防护组件包括：保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，保护支架包括两个旋转臂及连接两个旋转臂的托板，旋转臂可绕旋转轴旋转；第一动力部件驱动旋转轴旋转；升降模块，驱动保护模块在第一方向上升降，第一方向为晶棒的长度方向；侧面防护模块，包括：两个移动杆，两个移动杆一端连接在所述旋转臂上，另一端相向设置，可相向或相反运动；防护元件，设置在两个移动杆的相向设置的一端；驱动移动杆往复移动的第三动力部件。本发明晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，可提高晶棒生产效率及晶棒转移取出环节的稳定性与安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 取出 防护 组件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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