[发明专利]化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置有效
| 申请号： | 201911300603.2 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113070809B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈炤彰;林建宪;李人杰;王仲伟;陈俊臣;蔡明城 | 申请（专利权）人： | 大量科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34;B24B49/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置，尤指以动态方式进行对研磨垫表面进行检测的方法与装置，利用检测装置以气体隔离出供研磨垫露出的隔离区域进行检测让化学机械研磨装置可在不中断制程的状态下，对研磨垫进行检测，并达到更加精准的检测结果，进而可更加适时的对抛光垫进行整修与更换。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 检测 方法 | ||
【主权项】：
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