[发明专利]一种微波退火装置和微波退火方法有效
| 申请号： | 201911301452.2 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112981360B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 孙祥;段蛟;陈星建 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/56;C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种微波退火装置和微波退火方法，将微波传输至退火腔体内后，可以在预设气体氛围下对退火腔体内的待退火部件进行低温微波退火，使待退火部件表面的非晶相涂层转变为结晶相涂层，并通过改变腔体中的气氛，实现材料进一步氧化、氮化、氟化等。并且，不会对待退火部件如等离子体刻蚀设备的零部件的其他组成部分造成破坏，更不会影响等离子体刻蚀设备各部件制备工艺之间的兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 退火 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司，未经中微半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911301452.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：为题目打标签的方法、装置、存储介质及电子设备
- 下一篇：应用显示的方法及装置
- 同类专利
- 专利分类
