[发明专利]一种具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜及其制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 201911302324.X 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN110993785A 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 杨森;田方华;李叶蓓;张垠;周超;王宇 申请(专利权)人: 扬州旭磁智能科技有限公司
主分类号: H01L43/10 分类号: H01L43/10;H01L43/08;H01L43/12
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 王佳妹
地址: 225000 江苏省扬*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明属于磁性材料技术领域技术领域,提供了一种具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜及其制备方法及应用。本发明的具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜,包括由下而上叠加的衬底、Co/CoO纳米颗粒复合膜和保护层,所述Co/CoO纳米颗粒复合膜的颗粒尺寸为3~8nm,所述Co/CoO纳米颗粒复合膜的厚度为3.6~270nm。本发明的具有零场冷却交换偏置效应的Co/CoO纳米复合薄膜,采用直流磁控溅射技术制成,通过对氧分压及薄膜厚度的控制,得到具有Co/CoO复合纳米颗粒结构的薄膜。
搜索关键词: 一种 有零 冷却 交换 偏置 效应 co coo 纳米 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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