[发明专利]太赫兹频段在片S参数的校准方法及终端设备有效
| 申请号： | 201911302541.9 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111142057B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王一帮;吴爱华;梁法国;刘晨;栾鹏;霍晔;孙静;李彦丽 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 付晓娣 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明适用于半导体器件技术领域，提供了一种太赫兹频段在片S参数的校准方法及终端设备，包括：获取对太赫兹频段的系统进行初步校准后得到的8项误差模型；基于8项误差模型，获取基于第一校准件的第一S参数，并根据第一S参数确定第一数学模型，第一数学模型包含探针之间的并联串扰项；获取基于第二校准件的第二S参数，并根据第二S参数确定第二数学模型，第二数学模型包含探针之间的串联串扰项；获取基于被测件的第三S参数，并根据第三S参数确定第三数学模型；基于第一数学模型、第二数学模型和第三数学模型求解得到被测件的Z参数，并根据被测件的Z参数得到被测件的S参数。本发明能实现太赫兹频段在片S参数的准确测试。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 频段 参数 校准 方法 终端设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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