[发明专利]一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备在审
| 申请号： | 201911302735.9 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN110823098A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王垒;温简杰 | 申请（专利权）人： | 上海昌润极锐超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 金彦;许亦琳 |
| 地址： | 201111 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶金刚石生长过程的监测方法及监测设备。该监测方法包括如下步骤：1)在单晶金刚石生长前，移动厚度监测设备在单晶金刚石晶种表面进行光学厚度测量，获得初始的单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据；2)在单晶金刚石生长过程中，移动厚度监测设备在单晶金刚石表面进行光学厚度测量，获得生长过程中单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测设备包括厚度监测设备；厚度监测设备包括厚度监测部件和物镜；厚度监测部件与物镜及移动平台连接，用于获得单晶金刚石表面各检测处对应的厚度和位置数据。该监测方法及装置可以实时监测单晶金刚石厚度，一旦局部在高度上可观测到明显的变化，进而决定是否中断生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 过程 监测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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