[发明专利]一种功率器件结终端结构、制造方法及功率器件有效

专利信息
申请号: 201911302916.1 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN112993009B 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 周才能;陈喜明;王志成;魏伟;丁杰钦;罗烨辉;刘坤;龚芷玉;赵艳黎;李诚瞻 申请(专利权)人: 株洲中车时代半导体有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L21/82
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 吴大建;何娇
地址: 412001 湖南省株洲市石峰*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 本申请提供了一种功率器件结终端结构,场限环包括第一组场限环和第二组场限环,第一组场限环和第二组场限环中,每个场限环的宽度加上靠近主结方向且与其相邻的间隔的宽度为一常数;其中,第一组场限环相邻的场限环之间的间距以及主结与其相邻的场限环之间的间距中,每两个或多个相邻的所述间距相等,且沿从主结至场限环的方向依次递增;第二组场限环相邻的场限环之间的间距以及第二组场限环与第一组场限环相邻的场限环之间的间距中,沿从主结至场限环的方向,所述间距依次递增。本申请的结终端结构避免了主结附近和结终端外边缘附近的局部电场过大导致的器件击穿现象,使功率器件耐压性能和可靠性提升。
搜索关键词: 一种 功率 器件 终端 结构 制造 方法
【主权项】:
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