[发明专利]用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法有效
| 申请号： | 201911302926.5 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111121661B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 袁群;于颢彪;高志山;毕津慈;孙一峰;刘威剑;徐伟;胡乔伟;黄旭;曹鑫;第五蔻蔻 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于光滑表面形貌测量的窄带非单色光n+1幅相移测试算法，本算法通过窄带非单色光干涉测量实现对光滑样品表面形貌的复原，适用于光源为白光加窄带滤光片的干涉测试系统。驱动相移器按照π/2的相移间隔进行z轴垂直扫描，共采集连续的干涉图N幅，并对干涉图进行相位φ(z)求解，再根据φ(z)求解对比度U(z)，找出对比度最大的干涉图；以对比度最大的干涉图为第(n+1)/2幅干涉图，在其前后共取连续的n+1幅干涉图，第1幅至n幅相移干涉图采用n幅相移算法复原得到相位φ |
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| 搜索关键词： | 用于 光滑 表面 形貌 测量 窄带 单色光 相移 测试 算法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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