[发明专利]整平结构及其扇出型面板级封装设备在审
申请号: | 201911303070.3 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN112992719A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 江家谊 | 申请(专利权)人: | 亚智科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 赵梦雯;艾晶 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种整平结构及其扇出型面板级封装设备,其中整平结构包括有第一下短轴与第二下短轴以及设置于该第一下短轴上方的第一上短轴与该第二下短轴上方的第二上短轴,并可透过连接下轴或连接上轴相互连接,且借由设置于第一上短轴以及第二上短轴上的上下压具结构,透过上下压具的压制弹簧提供输送压制力,使由外部推进该整平结构的基板,借以使得翘曲的部位能在制程过程中达到整平的作用,同时借由加大的测头,以加大侦测基板的感测范围,并使基板更能顺利通过,且更能准确侦测基板的运输过程,避免卡板或滑片问题导致破片的产生。 | ||
搜索关键词: | 结构 及其 扇出型 面板 封装 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造