[发明专利]氮化物半导体元件在审

专利信息
申请号: 201911305897.8 申请日: 2014-10-28
公开(公告)号: CN111063776A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 郭雨澈;崔承奎;金材宪;郑廷桓;白龙贤;张三硕;洪竖延;郑渼暻 申请(专利权)人: 首尔伟傲世有限公司
主分类号: H01L33/24 分类号: H01L33/24;H01L33/32;H01L33/04;H01L29/15;H01L29/06
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 姜长星;张川绪
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种氮化物半导体元件。所述氮化物半导体元件包括:n型氮化物半导体层,包括第一下导电型半导体层和第一上导电型半导体层;超晶格层,位于所述n型氮化物半导体层上部;低浓度掺杂层,位于所述超晶格层上部;高浓度势垒层,位于所述低浓度掺杂层上部,相比于所述低浓度掺杂层而Si以更高浓度掺杂;活性层,位于所述高浓度势垒层上部;p型氮化物半导体层,位于所述活性层上部,其中,所述低浓度掺杂层的掺杂浓度小于所述高浓度势垒层和所述n型氮化物半导体层的掺杂浓度,V‑坑跨过所述超晶格层,低浓度掺杂层、高浓度掺杂层和活性层而形成。
搜索关键词: 氮化物 半导体 元件
【主权项】:
暂无信息
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