[发明专利]一种可调谐的超声传感器阵列有效
| 申请号： | 201911308045.4 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111001553B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;朱伟;吴志鹏;王磊 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 刘琰 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调谐的超声传感器阵列，包括超声发射单元和超声接收单元，超声发射单元为具有亥姆霍兹谐振腔的压电微制造超声换能器；超声接收单元为带质量负载的压电微制造超声换能器，超声发射单元利用压电叠层激励亥姆霍兹谐振腔辐射声波；通过调节质量负载可以对超声换能器进行调谐，从而使得接收单元的谐振频率和发射单元亥姆霍兹谐振腔的谐振频率一致；超声发射单元和超声接收单元于同一片晶片上加工，其压电叠层厚度一致。本发明的超声发射单元采用亥姆霍兹谐振腔可以对声波起到放大作用，超声接收单元采用的质量负载压电微制造超声换能器能对超声换能器进行调谐并提高接收灵敏度，两者结合的阵列能提高发射和接收声波的能量转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 超声 传感器 阵列 | ||
【主权项】：
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