[发明专利]利用对束图像的卷积神经网络的评估进行的光学对准校正

摘要

本发明是关于一种聚焦离子束(FIB)，其用于在各种离子束柱设置下将束斑铣削到基底中，以形成用于训练卷积神经网络的一组训练图像。在所述神经网络被训练之后，可以通过获取用所述神经网络处理的光斑图像来调整离子束。所述神经网络可以提供散焦的量级和方向、孔径位置、透镜调整或其它离子束或离子束柱设置。在一些情况下，调整不由所述神经网络完成，而是用于指示所述离子束和相关联的离子柱继续稳定地操作，并且不需要给予额外调整。