[发明专利]一种聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911309009.X 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN110954234A 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 孙道恒;崔在甫;周排弟;李鑫;周颖锋;李雅莉;何功汉;陈沁楠 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G01K7/16 分类号: G01K7/16;C04B35/58;C04B35/622;C04B35/634
代理公司: 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 代理人: 黄斌
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD及其制备方法,聚合物前驱体陶瓷薄膜RTD包括基底、位于基底上的陶瓷薄膜敏感元件、由陶瓷薄膜敏感元件引出的第一引线焊点、第二引线焊点,以及分别第一引线焊点、第二引线焊点连接的第一引线和第二引线,所述陶瓷薄膜敏感元件由掺有纳米铝粉、纳米二硼化钛、纳米二硼化锆的至少一种前驱体陶瓷薄膜制成,所述第一引线、第二引线与第一引线焊点和第二引线焊点的连接都是通过银浆烧结来实现的,以解决现有的陶瓷薄膜RTD工作温度有限以及制备复杂的问题。
搜索关键词: 一种 聚合物 前驱 陶瓷 薄膜 rtd 及其 制备 方法
【主权项】:
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