[发明专利]一种SiOx材料表面包覆处理的方法及装置有效
| 申请号： | 201911310208.2 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112993214B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 赵志宇;范协诚;袁芳伟;李硕;石佳光;刘朗;胡保平 | 申请（专利权）人： | 新疆硅基新材料创新中心有限公司 |
| 主分类号： | H01M4/1391 | 分类号： | H01M4/1391;H01M4/485;H01M10/0525;H01M10/058 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市高新技术产*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： |
本发明公开一种SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 siox 材料 表面 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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