[发明专利]掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201911310583.7 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110923633B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 姚固;王玉;郭书鹏;童亚超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 杨广宇 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种掩膜组件、蒸镀装置及蒸镀方法，属于显示技术领域。掩膜组件包括掩膜框架和掩膜版，该掩膜版位于该掩膜框架上，该掩膜框架包括相对的两个框边，该掩膜版的中心能够沿水平方向在该两个框边之间移动；该掩膜版具有多个掩膜孔，该掩膜版的中心处于不同位置时该多个掩膜孔在待掩膜平面上的正投影不重叠，该不同位置沿水平方向位于该两个框边之间。本申请的掩膜组件能够在一次蒸镀工艺中蒸镀多个膜层，有助于简化确定不同膜层的厚度分布的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 装置 方法 | ||
【主权项】：
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