[发明专利]一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型

摘要

一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型，半导体激光芯片发出的发散光束经准直器准直后，准直光束被MEMS反射镜反射至光栅发生衍射，选取合适的光栅入射角，使特定波长光束的某非零级次衍射角等于入射角，即该波长光束被光栅选中能够沿着入射光束反方向原路返回激光芯片中，形成激光振荡并输出。当MEMS反射镜发生转动时，被其反射的准直光束入射光栅的入射角将发生变化，则被光栅选中原路返回激光芯片并形成振荡和输出的光波长也随之改变，即实现了输出激光波长的调谐。该腔型使用非接触驱动原理的MEMS反射镜作为调谐器件，能避免长时间运行器件磨损造成调谐精度低、激光器寿命短的问题，而且在实现相同激光波长调谐范围的前提下，该腔型相比于Littman腔型，对MEMS反射镜镜面尺寸和反射镜转角范围的要求大幅度降低，有利于激光器实现宽调谐。