[发明专利]一种K镜光学系统装调方法有效
| 申请号： | 201911313724.0 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110989188B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 闫力松;莫言;晁联盈;陈晓晨;马冬林 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种K镜光学系统装调方法，属于光学元件装调领域。本发明包括以下步骤：S1、利用光学平行平板和干涉仪建立K镜光学系统光学基准；S2、借助五棱镜调节K2反射镜的位置，使K2反射镜镜面与K镜光学系统机械转轴平行；S3、按照机械平面位置放置K3反射镜，然后放入K1反射镜并调整K1反射镜位置，使干涉仪出射光经K1反射镜、K2反射镜、K3反射镜和光学平行平板反射后在干涉仪内形成零条纹。本发明具有装调精度高、装调方法简单、装调工具具有通用性等优点，同时在装调完成的K镜光学系统中留下相应光学基准，其可以作为K镜光学系统与后续光学系统对接的光学接口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学系统 方法 | ||
【主权项】：
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