[发明专利]一种表面贴装用的TGV集成垂直互连结构及其制作方法在审
申请号: | 201911316288.2 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN110980630A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 杨卓青;李亚辉;郑玮;张浩东;王艳;丁桂甫 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81C1/00 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种表面贴装用的TGV集成垂直互连结构,包括:玻璃基板,所述玻璃基板具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;以及金属填充通孔,所述金属填充通孔贯穿所述玻璃基板的第一表面和第二表面。本发明提出的TGV可用作集成全金属MEMS冲击阈值传感器及其后续表面贴装应用的理想基板,实现垂直维度上的电学互连。并且,基于本发明提出的TGV玻璃基板还可以明显提高整体MEMS器件的抗冲击性,稳定性及可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 贴装用 tgv 集成 垂直 互连 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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