[发明专利]石英玻璃坩埚有效
| 申请号： | 201911316941.5 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111334852B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 中尾年幸;北原江梨子;岸弘史 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张桂霞;杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供可防止在单晶硅中发生位错的同时制造低氧的单晶的石英玻璃坩埚。石英玻璃坩埚(1)具备：由含有气泡的合成石英熔融玻璃构成、且构成石英玻璃坩埚(1)的内面的密封层(11)；由不含气泡的合成石英熔融玻璃构成、且形成于密封层(11)的外侧的合成透明层(12)；由不含气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于合成透明层(12)的外侧的天然透明层(13)；以及由含有气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于天然透明层(13)的外侧的天然气泡层(14)，其中，密封层(11)的气泡含量高于合成透明层(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 | ||
【主权项】：
暂无信息
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