[发明专利]一种烧结装置及一种氧化物陶瓷靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201911317215.5 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110986586B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李喜峰;于正航;张建华;陈龙龙;姜姝 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;C04B35/453;C04B35/64;B28B3/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种烧结装置及一种氧化物陶瓷靶材的制备方法。本发明提供的烧结装置包括烧结炉炉体和设置在烧结炉炉腔内的分流隔片，在烧结过程中通过分流隔片向炉腔内输送氧气，能够减小炉腔温差，控制氧气流的层状分布，精准控制靶材烧结过程中氧空位密度及第二相的析出与分布均匀性，可有效提升靶材的质量，减少烧结时长，调控烧结靶材变形量、收缩性以及第二相的形状；使用本发明的烧结装置制备氧化物陶瓷靶材，所得靶材的相对密度大于99.9％，且使用过程中不易结瘤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烧结 装置 氧化物 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
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