[发明专利]气体混合装置及半导体加工设备有效
| 申请号： | 201911317364.1 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110917914B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 张少雷;郑波;马振国;徐刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01F23/10 | 分类号： | B01F23/10;B01F25/44;B01J19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体混合装置及半导体加工设备，气体混合装置包括引流组件、混合腔和出气组件，其中，引流组件与用于提供多种工艺气体的多个工艺气体管路连接，用于将每种工艺气体均分流为多股气流；且引流组件还与混合腔连通，用于将分流形成的多种工艺气体的每股气流均输送至混合腔中；出气组件分别与混合腔和反应腔室的进气组件连接，用于将多种工艺气体在混合腔中混合后的气体输送至反应腔室中。本发明提供的气体混合装置及半导体加工设备，能够提高多种工艺气体在进入反应腔室前的预混合效果，从而提高半导体加工工艺的工艺效果。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 混合 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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