[发明专利]一种喷流式电化学沉积设备有效

专利信息
申请号: 201911318288.6 申请日: 2019-12-19
公开(公告)号: CN111020652B 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 侯利然;熊邦国 申请(专利权)人: 安徽宏实自动化装备有限公司
主分类号: C25D5/08 分类号: C25D5/08;C25D17/00;C25D17/10
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 韩立峰
地址: 230041 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种喷流式电化学沉积设备,包括电镀槽,通过电镀槽内可并排设置一个或多个喷流机构、阴极、阳极,满足对一个或多个衬底的电解,电镀槽槽内安装有衬底固定架,衬底固定架上安装有衬底,衬底固定架两侧对称设置有喷流机构,喷流机构,喷流机构为中空壳体,且喷流机构两侧分别安装有隔膜、喷流板,喷流板一侧设置有阴极室,隔膜一侧设置有阳极室。本发明通过喷流固定板的设计,隔膜将阴极室内的阴极电解液和阳极室内的阳极电解液分开,电解过程中无需在阳极室里面的溶液添加添加剂,设置圆形形状和方形形状的喷流板,可以满足不同形状被镀物的电解,从而保证不同被镀物的电镀效果。
搜索关键词: 一种 喷流 电化学 沉积 设备
【主权项】:
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