[发明专利]电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控方法在审
| 申请号： | 201911318771.4 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113013008A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 周旭升;陈煌琳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 包姝晴;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电感耦合型等离子处理设备及其盖体、介电窗温控方法。用于电感耦合型等离子处理设备的盖体固定在介电窗上且对应所述介电窗的一面形成沟槽，所述沟槽用于容纳流体。本发明通过沟槽中的流体对介电窗进行控温，以达到控温精度高且稳定的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子 处理 设备 及其 介电窗 温控 方法 | ||
【主权项】：
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