[发明专利]一种电子级试剂的制备方法在审
申请号: | 201911319061.3 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN113004119A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 丁姜宏;刘兵;彭洪修 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C07C29/74 | 分类号: | C07C29/74;C07C29/94;C07C29/80;C07C31/10;C07C315/06;C07C317/04;C07D249/18;C07D231/10 |
代理公司: | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人: | 李佳铭;王芳 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种电子级试剂的制备方法,步骤包括:将待纯化原料与金属化合物加入到精馏系统中精馏;去除前组分后开始收集产品;检测收集的产品中的金属离子与阴离子的含量以验证产品的纯度是否达到电子级试剂的标准。本发明在精馏时加入适量的金属化合物,可以一步将金属离子与阴离子均降低到ppb级别,尤其是有效降低了电子级试剂中的阴离子的含量,显著提高了电子级试剂的纯度,而且步骤简单,纯度高,适用范围更广。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 试剂 制备 方法 | ||
【主权项】:
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