[发明专利]氢燃料电池金属双极板用Ti/TiCN纳米涂层的制备方法及设备有效
| 申请号： | 201911325122.7 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110983283B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 欧伊翔;刘超;唐爱权;王浩琦 | 申请（专利权）人： | 欧伊翔 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;H01M8/0206;H01M8/0213;H01M8/0228;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 高琦 |
| 地址： | 100875 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及涂层制备技术领域，提供了一种氢燃料电池金属双极板用Ti/TiCN纳米涂层的制备方法及设备，该方法包括：采用脉冲等离子体技术，在氩气流量为120sccm的预真空室里进行反应，产生的Ti等离子体轰击金属双极板的表面，在金属双极板的表面形成Ti注入层；将形成Ti注入层的金属双极板在预真空室进行反应，在金属双极板的注入层上形成Ti纳米层，形成金属双极板的过渡层；将形成过渡层的金属双极板在氩气流量为80～130sccm、氮气流量为20～50sccm和乙炔流量为10～30sccm的真空室中进行反应溅射镀膜，得到金属双极板用Ti/TiCN纳米涂层。本发明制备的Ti/TiCN纳米涂层具有高结合力、高导电性、优异耐腐蚀性和低接触电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 燃料电池 金属 极板 ti ticn 纳米 涂层 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧伊翔，未经欧伊翔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911325122.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种油茶专用促生肥料及其制备和应用
- 下一篇：一种轻型实木墙面板
- 同类专利
- 专利分类
