[发明专利]一种多脉冲匀化激光太阳能电池加工方法及设备

摘要

本发明提供一种多脉冲匀化激光太阳能电池加工方法，包括以下步骤，发出高斯分布的多脉冲激光，对高斯分布的多脉冲激光进行匀化处理，得到平顶分布的多脉冲激光，采用匀化后平顶分布的多脉冲激光，按照金属电极图形进行扫描，完成掺杂剂掺杂。本发明采用多脉冲+匀化后的激光，作用在太阳能电池上，对其进行掺杂处理，尤其是选择性发射极的掺杂，能够提高激光掺杂能力，降低掺杂损伤，改善太阳能电池重掺区域掺杂剂掺杂的均匀性，降低金属接触区域复合，提高太阳能电池的转换效率。