[发明专利]一种存储器及其制造方法有效
| 申请号： | 201911326561.X | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113013235B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 祝进专;李庆民;王梦慧 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/417;H01L29/788;H01L21/28;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出一种存储器及其制造方法，包括：衬底；控制栅层，位于所述衬底上；凹形区域，与所述控制栅层相邻；浮栅结构，位于所述凹形区域的衬底上；源极，形成在所述衬底中，位于所述控制栅层远离所述凹形区域的一侧；漏极，形成在所述凹形区域的衬底中。本发明提出的存储器编程时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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