[发明专利]一种多晶硅外源碳的检测方法在审
| 申请号： | 201911326762.X | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110940637A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞;袁中华;游书华;彭中;黄仕建 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘翠香 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多晶硅外源碳的检测方法，包括在红外碳硫分析仪的坩埚上依次放入纯铁颗粒、多晶硅试样、锡颗粒和钨颗粒，其中所述锡颗粒和所述钨颗粒均匀覆盖在所述多晶硅试样的表面，加热至所述多晶硅试样完全燃烧；向所述红外碳硫分析仪中通入氧气使所述多晶硅试样中的碳氧化为二氧化碳；去除所述二氧化碳中混有的其他气体；将所述二氧化碳导入碳检测池测定外源碳的含量。上述多晶硅外源碳的检测方法，能够准确、快速、高灵敏度的检测出多晶硅中的外源碳的含量，抗干扰能力更强，精密度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅外源碳 检测 方法 | ||
【主权项】：
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