[发明专利]一种免标定的气体浓度测量装置及方法有效
申请号: | 201911328202.8 | 申请日: | 2019-12-20 |
公开(公告)号: | CN111122496B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 彭志敏;王振;丁艳军 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
地址: | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种免标定的气体浓度测量装置及方法,其装置包括直接吸收光谱装置和衰荡光谱装置,两装置气室相互联通,共用一个激光器。激光器出射光分为两束,一束进入直接吸收光谱装置,另一束进入衰荡光谱测量装置,通过程序控制实现两种光谱技术分时测量。该方法通过直接拟合透射光强,得到气体浓度,实现了直接吸收光谱免标定测量。利用直接吸收光谱测量的气体吸收率,以及衰荡光谱测量的蕴含气体吸收的衰荡时间,计算得到空腔衰荡时间,实现衰荡光谱免标定测量。本发明根据两种光谱的测量精度和量程智能选择测量结果,测量精度在高浓度时约10‑20ppm,低浓度时小于1ppm,且测量过程无需标定,具有测量速度快、操作简单等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 标定 气体 浓度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
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