[发明专利]太阳能电池及其制造方法在审
| 申请号： | 201911328460.6 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111063766A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 吴慧敏;林纲正;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李辉;李春辉 |
| 地址： | 321000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开涉及太阳能电池及其制造方法。用于制造太阳能电池的方法包括：将硅晶片放置到扩散炉内；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一温度和第一压强；向扩散炉中供应磷源气体和氧气达第一时间段；控制扩散炉以使得扩散炉内的环境处于第一压强和第二温度，第二温度高于第一温度；向扩散炉中供应磷源气体和氧气达第二时间段，以在硅晶片的表面形成磷源层；以及将磷源层中的磷原子扩散到硅晶片中。本公开的实施例可以改善太阳能电池的扩散层的方块电阻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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