[发明专利]基于金属卟啉的分子玻璃化学放大光刻胶及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201911329042.9 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113004291B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 杨国强;陈龙;王亚飞;玉佳婷;胡睿;郭旭东;王双青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | C07D487/22 | 分类号： | C07D487/22;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 谢蓉;黄海丽 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明属于光刻胶技术领域，具体涉及基于金属卟啉的分子玻璃化学放大光刻胶及其制备方法和应用。所述光刻胶中基体成分为式(P)所示的金属卟啉化合物。所述基体成分是立体对称的无定形小分子化合物，可以在光刻胶常用的有机溶剂中溶解。本发明的光刻胶组合物可以制备得到均匀的薄膜，在制膜过程中，作为基体成分的分子玻璃不析出。由本发明的光刻胶组合物制备得到的薄膜具有良好的分辨率、光敏性、粘附性，且易于保存。 |
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| 搜索关键词： | 基于 金属 卟啉 分子 玻璃 化学 放大 光刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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