[发明专利]一种光束偏转精瞄驱动构件微镜有效
| 申请号： | 201911329204.9 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110967824B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 安坤;孟江;何建龙;杨良兴;刘玠;王亚峰 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 030051 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集驱动/光反射功能于一体的光束偏转精瞄驱动构件微镜，包括内部镂空的外围基座，外围基座的四个角刻蚀出Pt作为下电极，外围基座中心设有四悬梁结构，四悬梁与外围基座中心基底正上方是微镜，微镜的方框内溅射沉积有金属层Au，悬臂梁上设置有上电极Au。本发明结构合理，工艺简单，集驱动/光反射功能于一体，有效解决现有空间光通信ATP精跟踪系统中精瞄执行器件微镜体积大、调节频率低、响应速度慢、位移分辨率低、可靠性差等技术瓶颈，适用于空间光通信光束偏转精瞄及驱动，实现光束快速对准的精准控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 偏转 驱动 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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