[发明专利]一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法有效
| 申请号： | 201911329307.5 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN110954714B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈科纶;谷森;孙钰;汝长海;朱军辉 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法，包括以下步骤：在所述悬臂梁上涂有刚度调节层，形成悬臂梁‑涂层复合件；通过改变所述刚度调节层的温度以改变悬臂梁‑涂层复合件的刚度。能够实时调节探针刚度，不需频繁更换探针，减少探针损耗，调节范围大，工作范围广，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 刚度 实时 调节 方法 | ||
【主权项】：
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