[发明专利]一种预防静电损伤的光罩及预防光罩静电损伤的方法

摘要

本发明涉及半导体的光刻工艺技术领域，尤其涉及一种预防静电损伤的光罩，光罩包括多个图形模块，用于对晶圆执行一光刻工艺，光罩还包括：至少利用一根导线将两个不同静电电位的图形模块连接，以使两个图形模块之间形成等电位。本发明技术方案的有益效果在于：本发明提供一种预防静电损伤的光罩，在光罩的多个图形模块之间设置一根导线，使得多个图形模块之间形成等电位，避免静电电荷的转移，可从源头上防止静电产生，既可以节省生产成本，也可以有效地防止静电损伤。