[发明专利]一种三明治加速度计微结构制作方法有效
| 申请号： | 201911330733.0 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111122904B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘国文;刘宇;邱飞燕;刘福民;杨静;李兆涵;赵亭杰;吴浩越;徐宇新 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 胡健男 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三明治加速度计微结构制作方法，涉及MEMS芯片制造领域，包括以下内容：上、下电极圆片采用硅衬底上薄层玻璃的晶片，首先上下电极圆片在玻璃面进行通孔光刻，再生长铬金薄膜，光刻腐蚀制造出上下电极极板，结构采用单晶硅晶片，利用湿法腐蚀工艺制作结构层，三层晶片通过阳极键合工艺键合在一起，在上极板背面生长铬金薄膜，最后切割上电极圆片露出焊盘，切割三层圆片得到三明治加速度计芯片。本方法充分利用硅玻璃键合的特点，简单易操作，对键合表面的要求低，本发明加工出的三明治加速度计近似全硅器件，热失配问题小、寄生电容小，本发明能使芯片的质量和成品率得到很大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 加速度计 微结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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