[发明专利]一种晶圆洗边系统在审
| 申请号： | 201911334133.1 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111085498A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 乐美华 | 申请（专利权）人： | 南安泊阅工业设计有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B1/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362341 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆洗边系统，其结构包括脚轮、箱体、控制面板、清洗槽、上盖，脚轮安装于箱体下端四角并且采用机械连接，控制面板安装于箱体正面并且通过导线电连接，清洗槽嵌入安装于箱体内侧，上盖安装于箱体上端并且采用铰链连接；清洗槽包括沿板、清洗箱、内槽、放置框，沿板水平安装于清洗箱上端并且相焊接，内槽设于清洗箱内侧并且为一体化结构，放置框安装于清洗箱内侧并且位于内槽，本发明在内槽设置了放置框，减少了晶圆之间的磕碰，从而减少了晶圆表面造成的损伤；在内腔下端设置了底毛刷结构，防止晶圆与内壁发生碰撞，减少了晶圆表面造成的损伤，使其在加工完成后在电路设备整体的故障率降低，进而提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆洗边 系统 | ||
【主权项】：
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