[发明专利]半导体器件及用于生产半导体器件的方法在审

专利信息
申请号: 201911334259.9 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN111446237A 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 古拉布·萨布依;陈宇鹏;U·夏尔马 申请(专利权)人: 半导体元件工业有限责任公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 马芬;王琳
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及半导体器件及用于生产半导体器件的方法。在总体方面,半导体器件可包括第一导电类型的重掺杂衬底、设置在重掺杂衬底上的第二导电类型的轻掺杂外延层,以及设置在轻掺杂外延层上的第二导电类型的重掺杂外延层。重掺杂外延层可具有大于轻掺杂外延层的掺杂浓度的掺杂浓度。重掺杂衬底的至少一部分可包括在齐纳二极管的第一端子中,并且轻掺杂外延层的至少一部分和重掺杂外延层的至少一部分可包括在齐纳二极管的第二端子中。半导体器件还可包括端接沟槽,该端接沟槽延伸穿过重掺杂外延层和轻掺杂外延层,并且终止于重掺杂衬底中。
搜索关键词: 半导体器件 用于 生产 方法
【主权项】:
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