[发明专利]一种铪酸铅反铁电薄膜电容器的制备方法有效

专利信息
申请号: 201911337002.9 申请日: 2019-12-23
公开(公告)号: CN110993332B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 黄先雄;唐新桂;刘志钢;徐虎 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01G4/10 分类号: H01G4/10;H01G4/33;C03C17/36
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 付丽
地址: 510060 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种铪酸铅反铁电薄膜电容器的制备方法,包括以下步骤:A)将乙酰丙酮铪和乙酸铅溶于由乙二醇甲醚、冰醋酸和乙酰丙酮组成的混合溶液中,得到PbHfO3前驱液;B)将所述PbHfO3前驱液旋涂在FTO玻璃衬底表面后进行干燥,得到前驱体薄膜;C)将所述前驱体薄膜在空气氛围下进行高温退火,得到铪酸铅反铁电薄膜;D)在所述铪酸铅反铁电薄膜表面镀顶电极,得到铪酸铅反铁电薄膜电容器。通过溶胶凝胶法,在合适的退火温度和退火时间下,首次合成了PbHfO3薄膜,在FTO玻璃上制备的反铁电薄膜电容器,该薄膜具有良好的反铁电性能。
搜索关键词: 一种 铪酸铅反铁电 薄膜 电容器 制备 方法
【主权项】:
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