[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911338725.0 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111162745A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王忠浩 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，其中谐振器包括：衬底，衬底上开设有空腔；键合层，设在空腔外的衬底的上表面；底电极层，底电极层设在键合层的上表面，并完全覆盖空腔；在底电极层外设有填补层，使底电极层与填补层齐平；压电层设在底电极层与填补层的上表面；压电层上开设有通孔，通孔贯穿压电层、底电极层、键合层、填补层与空腔相连通；顶电极层，设在压电层的上表面，顶电极层与底电极层在水平面上的正投影只有在对应空腔的位置相重合。本发明可让空腔内的空气与外界相连通，避免出现鼓包或凹陷的现象，提高薄膜体声波谐振器制备良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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