[发明专利]一种防止产生污染物的零部件处理方法及等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201911339687.0 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113097041A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王晓雯;张卓民;王兆祥 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 贾慧琴;包姝晴 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种防止产生污染物的零部件处理方法及等离子体处理装置，该处理方法包含：将零部件置于一真空反应腔；将一硅晶圆置于该真空反应腔内；生成硅镀膜：向真空反应腔内通入处理气体，该处理气体包含NH |
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| 搜索关键词： | 一种 防止 产生 污染物 零部件 处理 方法 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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