[发明专利]一种横向功率器件有效
申请号: | 201911340922.6 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN111162122B | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 冯宇翔;魏调兴 | 申请(专利权)人: | 广东美的白色家电技术创新中心有限公司;美的集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/423 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 瞿璨 |
地址: | 528311 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种横向功率器件,该横向功率器件包括栅介质层、第一槽栅、有源层以及第二槽栅,第一槽栅形成在栅介质层内,第一槽栅沿第一方向的截面为U型;有源层形成在栅介质层内,有源层沿第一方向的截面为U型,且U型的有源层位于U型的第一槽栅之内;第二槽栅形成在栅介质层内,且第二槽栅位于U型的有源层的两端之间。本发明通过第一槽栅和第二槽栅的协同作用,能够直接调控整个有源层的电子注入能力,降低横向功率器件的导通压降,从而大幅提高横向功率器件的电流能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 横向 功率 器件 | ||
【主权项】:
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